Technische Regel [AKTUELL]
VDI 2083 Blatt 5.1:2007-09
Reinraumtechnik - Betrieb von Reinräumen
- Englischer Titel
- Cleanroom technology - Cleanroom operation
- Ausgabedatum
- 2007-09
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 95
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- 2007-09
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Kurzreferat
Die Richtlinie beschreibt Erfordernisse an den Betrieb reinraumtechnischer Systeme, die im Rahmen der Qualitätssicherung spezifiziert werden, um die jeweiligen Reinheitsanforderungen an die Prozessumgebung sicherzustellen. Der Anwendungsbereich umfasst alle planbaren und vorhersehbaren Betriebszustände. Er umfasst neben dem Reinraumprozess und dem Produktionsprozess den Normalbetrieb, den Ruhebetrieb, Störungen sowie die Störungsbeseitigung und die Maßnahmen der Wartung und Instandhaltung. Die Reinheitsanforderungen sollten alle für den jeweiligen Anwendungsfall wesentlichen Kontaminationskategorien erfassen: physikalische (Partikel), chemische (molekulare) und biologische. Ausnahmezustände, wie z. B. Katastrophen und Brände gehören nicht zum Anwendungsbereich.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
Dieses Dokument ersetzt VDI 2083 Blatt 2:1996-02 , VDI 2083 Blatt 4:1996-02 , VDI 2083 Blatt 5:1996-02 .
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