Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit

Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN]

VDI 2083 Blatt 4:1996-02

Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit

Englischer Titel
Cleanroom technology - Surface cleanliness
Ausgabedatum
1996-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
51

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ab 125,51 EUR exkl. MwSt.

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1996-02
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Deutsch, Englisch
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51

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Kurzreferat

Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35
Ersatzvermerk

Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 5.1:2007-09 , VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12 .

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