Reinraumtechnik - Messung kondensierbarer luftgetragener Substanzen

Technische Regel Entwurf [VORBESTELLBAR]

VDI 2083 Blatt 22:2025-09 - Entwurf

Reinraumtechnik - Messung kondensierbarer luftgetragener Substanzen

Englischer Titel
Cleanroom technology - Measurement of condensable airborne substances
Ausgabedatum
2025-09
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
20

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Kurzreferat

Diese Richtlinie beschreibt eine Methode zur Probenahme und Messung kondensierter chemischer Kontamination auf Oberflächen. Die Ergebnisse liefern Ausgangspunkte für den Schutz von Prozess und Produkt. Oberflächenkontaminationen können negative Auswirkungen auf die Produkte vieler produzierender Industrien haben.Nicht Gegenstand dieser Richtlinie sind Kontaminationen flüssiger Prozessmedien.Der Anwendungsbereich umfasst alle Produktions- und Lagerbereiche, in denen Produkte und Prozesse durch die chemische Oberflächenreinheit beeinflusst werden können. Diese Richtlinie behandelt organische Moleküle einschließlich Silanen und Siloxanen.
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