Chemische Oberflächenanalyse . Sekundärionenmassenspektrometrie . Bestimmung des Elementgehalts von Bor in Silizium unter Verwendung gleichförmig dotierter Materialien

Norm [AKTUELL]

NF X21-070:2010-09-01

NF ISO 14237:2010-09-01

Chemische Oberflächenanalyse . Sekundärionenmassenspektrometrie . Bestimmung des Elementgehalts von Bor in Silizium unter Verwendung gleichförmig dotierter Materialien

Englischer Titel
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Ausgabedatum
2010-09-01
Originalsprachen
Französisch
Seiten
25

ab 79,60 EUR inkl. MwSt.

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