Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch

Norm [AKTUELL]

DIN 50989-6:2024-02

Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English
Ausgabedatum
2024-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
39

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ab 88,41 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
2024-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
39
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3498042

Produktinformationen auf dieser Seite:

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen (N) beziehungsweise dielektrischen (ε) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis

ICS

19.100

DOI

https://dx.doi.org/10.31030/3498042

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