Norm-Entwurf
DIN 50450-2:2025-07 - Entwurf
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 2: Determination of Oxygen impurities in Nitrogen, Argon, Helium, Neon and Hydrogen using a galvanic cell
- Erscheinungsdatum
- 2025-06-20
- Ausgabedatum
- 2025-07
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 9
- Erscheinungsdatum
- 2025-06-20
- Ausgabedatum
- 2025-07
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 9
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3624965
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Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045,
71.100.20
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3624965
Ersatzvermerk
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50450-2:1991-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Inhaltsverzeichnis eingefügt; b) Einheit in µmol/mol geändert; c) im Abschnitt 10 die Berechnung der Messunsicherheit aufgenommen; d) im Abschnitt 11 Angaben im Prüfbericht ergänzt; e) Anhang A mit Beispiel zur Berechnung der Messunsicherheit aufgenommen; f) Literaturhinweise hinzugefügt; g) Dokument redaktionell überarbeitet.
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