Bestimmung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite von Dünnschichten durch Röntgenreflektometrie - Geräteanforderungen, Einstellung und Positionierung, Datensammlung, Datenanalyse und Berichterstattung

Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

ISO 16413:2013-02

Bestimmung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite von Dünnschichten durch Röntgenreflektometrie - Geräteanforderungen, Einstellung und Positionierung, Datensammlung, Datenanalyse und Berichterstattung

Englischer Titel
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Ausgabedatum
2013-02
Originalsprachen
Englisch
Seiten
30

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ab 69,53 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
2013-02
Originalsprachen
Englisch
Seiten
30

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Inhaltsverzeichnis

ICS

35.240.70, 71.040.40
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