Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)

Norm [AKTUELL]

ISO 14706:2014-08

Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)

Englischer Titel
Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Ausgabedatum
2014-08
Originalsprachen
Englisch
Seiten
25

ab 151,10 EUR inkl. MwSt.

ab 141,21 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
2014-08
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Englisch
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25

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Inhaltsverzeichnis

ICS

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